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基礎信息Product information

產品名稱:日本新宇宙 XP-703D 半導體特氣檢漏儀(自動吸引式)

產品型號:XP-703D

產品簡介:

型 號 XP-703D
檢測對象氣體
半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)

檢測原理
型半導體式

采樣方式
自動吸引式

可檢測濃度
(單位:ppm)
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

產品特性Product characteristics

日本新宇宙 XP-703D 氣體檢測儀

 

日本新宇宙 XP-703D 氣體檢測儀

 

 

特點:
于檢測半導體特氣的微量泄漏。
 采用聲光報警。

規格

 
型 號

XP-703D

檢測對象氣體

半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)

檢測原理

型半導體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度
(單位:ppm)

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍

應答速度

10秒以內

 

 

示波器

網絡測試儀

蓄電池測試儀

溫濕度計

照度計

綜合測試儀

信號源系列

照度計

萬用表

電子負載

LCR電橋

高斯計

頻譜分析儀

接地電阻測試儀

邏輯分析儀

噪音計

安規測試儀

絕緣電阻測試儀

鉗形表

涂層測厚儀

功率計

電源/變頻電源

氣體檢測儀

推拉力計


 

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